МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РФ
ФГБОУ ВО «ЧЕЧЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ»
Факультет физики и информационно-коммуникационных технологий
Кафедра «Физическая электроника
КУРСОВАЯ РАБОТА
Тема: “ Датчики давления: физические основы работы, конструктивно-технологические особенности”
Выполнил:
Альбекхаджиев Аюб Абуевич
группа: 5 «Д»
отделение: ОЗО
Руководитель:
Наскалова Олеся Викторовна
Грозный 2019г.
СОДЕРЖАНИЕ
Введение....................................................................................................... 3
Глава 1. Датчик давления............................................................................. 4
1.1 Классификация датчиков давления...................................................... 4
1.2 Виды датчиков давления. Конструкция и принцип их работы............ 5
1.2.1 Кремниевые датчики........................................................................ 5
1.2.2 Датчики давления на основе двухслойной
металлической пленки...................................................................... 7
1.2.3 Электронный барометр.................................................................. 10
Глава 2. Общая характеристика датчика давления.................................... 15
2.1 Емкостный датчик............................................................................... 15
2.2 Пьезоэлектрический датчик................................................................ 15
2.3 Тензорезистивный датчик................................................................... 16
2.4 Датчики уровня жидкости.................................................................. 17
Глава 3. Методы преобразования давления............................................... 22
3.1 Тензометрический метод.................................................................... 22
3.2 Пьезорезистивный метод.................................................................... 24
3.3 Емкостный метод................................................................................ 25
3.4 Резонансный метод............................................................................. 26
Заключение................................................................................................. 28
Список литературы.................................................................................... 29